凈化車澡的溫濕度要求與中央空調廠房普通生產區域差異之處，它不僅需要滿足生產者（員工）的舒適感，而且還需兼顧生產工藝及產品特性的要求。

        不同生產工藝對生產環境的要求各有不同，隨著產業升級生產工藝（環境）對潔凈度及溫濕度的要求也隨之增高。

示例一（電子行業制造）

        在電子制造領域生產區最重要的環節是防靜電，這將對電子產品產生不利影響并降低產品的產量，對產品造成短路甚至造成員工導電暈倒事故。故而電子行業凈化車間的相對濕度不應低于30%，為了減少靜電的產生，凈化車間的抗靜電區域的相對濕度不低于50%，過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子行業凈化車間無特殊要求的情況下，溫度控制在23 ±2℃左右，相對濕度控制在55±5%RH之間，在這種生產環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

示例二（大規模集成電路）

        大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種無塵車間不宜超過25℃。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55% RH時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50% RH時易生銹。